Modul #1 Einführung in die Nanoskalenfertigung Überblick über die Nanoskalenfertigung, ihre Bedeutung und Anwendungen
Modul #2 Nanoskalenfertigungstechniken: Ein Überblick Überblick über Top-down- und Bottom-up-Ansätze zur Nanoskalenfertigung
Modul #3 Lithographie: Prinzipien und Techniken Einführung in Lithographie, Photolithographie und Extrem-Ultraviolett-Lithographie
Modul #4 Elektronenstrahllithographie (EBL) EBL-Prinzipien, -Instrumentierung und -Anwendungen
Modul #5 Fokussierte Ionenstrahl-Lithographie (FIB) FIB-Prinzipien, -Instrumentierung und -Anwendungen
Modul #6 Rastersondenmikroskopie (SPM)-Lithographie SPM-Prinzipien, -Instrumentierung und -Anwendungen
Modul #7 Nanoimprint-Lithographie Prinzipien, -Instrumentierung und -Anwendungen der Nanoimprint-Lithographie
Modul #8 Weiche Lithographie Prinzipien, -Instrumentierung und -Anwendungen der Weichen Lithographie Anwendungen
Modul #9 Molekulare Selbstassemblierung Prinzipien, Techniken und Anwendungen der molekularen Selbstassemblierung
Modul #10 Blockcopolymer-Lithographie Prinzipien, Instrumente und Anwendungen der Blockcopolymer-Lithographie
Modul #11 Nanolithographie mit DNA-Origami Prinzipien, Techniken und Anwendungen von DNA-Origami
Modul #12 Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) Prinzipien, Instrumente und Anwendungen von CVD
Modul #13 Atomlagenabscheidung (ALD) Prinzipien, Instrumente und Anwendungen von ALD
Modul #14 Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) Prinzipien, Instrumente und Anwendungen von PVD
Modul #15 Ätztechniken im Nanomaßstab Ätztechniken im Nanomaßstab, einschließlich reaktivem Ionenätzen (RIE) und induktiv gekoppeltem Plasmaätzen (ICP)
Modul #16 Nanomesstechnik und -charakterisierung Nanomesstechnik und -charakterisierung SEM und TEM
Modul #17 Herausforderungen und Einschränkungen der Nanofabrikation Diskussion der Herausforderungen und Einschränkungen der Nanofabrikation
Modul #18 Anwendungen der Nanofabrikation Übersicht über Anwendungen der Nanofabrikation in Elektronik, Photonik und Biomedizin
Modul #19 Nanofabrikation für Energieanwendungen Nanofabrikation für Energieanwendungen, einschließlich Solarzellen und Energiespeicherung
Modul #20 Nanofabrikation für biomedizinische Anwendungen Nanofabrikation für biomedizinische Anwendungen, einschließlich Biosensoren und Gewebezüchtung
Modul #21 Nanofabrikation für elektrochemische Anwendungen Nanofabrikation für elektrochemische Anwendungen, einschließlich Brennstoffzellen und elektrochemische Sensoren
Modul #22 Nanofabrikation für optoelektronische Anwendungen Nanofabrikation für optoelektronische Anwendungen, einschließlich LEDs und Photodetektoren
Modul #23 Nanofabrikation für Lithium-Ionen-Batterien Nanofabrikation für Lithium-Ionen-Batterien, einschließlich Elektrodendesign und -optimierung
Modul #24 Nanoskalige Fertigung für Wasserreinigung und -sanierung Nanoskalige Fertigung für Wasserreinigung und -sanierung, einschließlich Membrantrennung und Nanokatalysatoren
Modul #25 Nanoskalige Fertigung für moderne Materialien Nanoskalige Fertigung für moderne Materialien, einschließlich Metamaterialien und Nanokomposite
Modul #26 Nanoskalige Fertigung für Quantencomputer Nanoskalige Fertigung für Quantencomputer, einschließlich supraleitender Qubits und Quantenpunkte
Modul #27 Nanoskalige Fertigung für biomedizinische Bildgebung Nanoskalige Fertigung für biomedizinische Bildgebung, einschließlich MRI und PET
Modul #28 Nanoskalige Fertigung für moderne Fertigung Nanoskalige Fertigung für moderne Fertigung, einschließlich 3D-Druck und Nanoskalenmontage
Modul #29 Sicherheits- und Umweltaspekte bei der Nanoskaligen Fertigung Diskussion über Sicherheits- und Umweltaspekte bei der Nanoskaligen Fertigung
Modul #30 Kursabschluss und Schlussfolgerung Planen Sie die nächsten Schritte in Ihrer Karriere im Bereich Fertigungstechniken im Nanobereich
