Fertigungstechniken im Nanomaßstab
( 30 Module )

Modul #1
Einführung in die Nanoskalenfertigung
Überblick über die Nanoskalenfertigung, ihre Bedeutung und Anwendungen

Modul #2
Nanoskalenfertigungstechniken: Ein Überblick
Überblick über Top-down- und Bottom-up-Ansätze zur Nanoskalenfertigung

Modul #3
Lithographie: Prinzipien und Techniken
Einführung in Lithographie, Photolithographie und Extrem-Ultraviolett-Lithographie

Modul #4
Elektronenstrahllithographie (EBL)
EBL-Prinzipien, -Instrumentierung und -Anwendungen

Modul #5
Fokussierte Ionenstrahl-Lithographie (FIB)
FIB-Prinzipien, -Instrumentierung und -Anwendungen

Modul #6
Rastersondenmikroskopie (SPM)-Lithographie
SPM-Prinzipien, -Instrumentierung und -Anwendungen

Modul #7
Nanoimprint-Lithographie
Prinzipien, -Instrumentierung und -Anwendungen der Nanoimprint-Lithographie

Modul #8
Weiche Lithographie
Prinzipien, -Instrumentierung und -Anwendungen der Weichen Lithographie Anwendungen

Modul #9
Molekulare Selbstassemblierung
Prinzipien, Techniken und Anwendungen der molekularen Selbstassemblierung

Modul #10
Blockcopolymer-Lithographie
Prinzipien, Instrumente und Anwendungen der Blockcopolymer-Lithographie

Modul #11
Nanolithographie mit DNA-Origami
Prinzipien, Techniken und Anwendungen von DNA-Origami

Modul #12
Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
Prinzipien, Instrumente und Anwendungen von CVD

Modul #13
Atomlagenabscheidung (ALD)
Prinzipien, Instrumente und Anwendungen von ALD

Modul #14
Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
Prinzipien, Instrumente und Anwendungen von PVD

Modul #15
Ätztechniken im Nanomaßstab
Ätztechniken im Nanomaßstab, einschließlich reaktivem Ionenätzen (RIE) und induktiv gekoppeltem Plasmaätzen (ICP)

Modul #16
Nanomesstechnik und -charakterisierung
Nanomesstechnik und -charakterisierung SEM und TEM

Modul #17
Herausforderungen und Einschränkungen der Nanofabrikation
Diskussion der Herausforderungen und Einschränkungen der Nanofabrikation

Modul #18
Anwendungen der Nanofabrikation
Übersicht über Anwendungen der Nanofabrikation in Elektronik, Photonik und Biomedizin

Modul #19
Nanofabrikation für Energieanwendungen
Nanofabrikation für Energieanwendungen, einschließlich Solarzellen und Energiespeicherung

Modul #20
Nanofabrikation für biomedizinische Anwendungen
Nanofabrikation für biomedizinische Anwendungen, einschließlich Biosensoren und Gewebezüchtung

Modul #21
Nanofabrikation für elektrochemische Anwendungen
Nanofabrikation für elektrochemische Anwendungen, einschließlich Brennstoffzellen und elektrochemische Sensoren

Modul #22
Nanofabrikation für optoelektronische Anwendungen
Nanofabrikation für optoelektronische Anwendungen, einschließlich LEDs und Photodetektoren

Modul #23
Nanofabrikation für Lithium-Ionen-Batterien
Nanofabrikation für Lithium-Ionen-Batterien, einschließlich Elektrodendesign und -optimierung

Modul #24
Nanoskalige Fertigung für Wasserreinigung und -sanierung
Nanoskalige Fertigung für Wasserreinigung und -sanierung, einschließlich Membrantrennung und Nanokatalysatoren

Modul #25
Nanoskalige Fertigung für moderne Materialien
Nanoskalige Fertigung für moderne Materialien, einschließlich Metamaterialien und Nanokomposite

Modul #26
Nanoskalige Fertigung für Quantencomputer
Nanoskalige Fertigung für Quantencomputer, einschließlich supraleitender Qubits und Quantenpunkte

Modul #27
Nanoskalige Fertigung für biomedizinische Bildgebung
Nanoskalige Fertigung für biomedizinische Bildgebung, einschließlich MRI und PET

Modul #28
Nanoskalige Fertigung für moderne Fertigung
Nanoskalige Fertigung für moderne Fertigung, einschließlich 3D-Druck und Nanoskalenmontage

Modul #29
Sicherheits- und Umweltaspekte bei der Nanoskaligen Fertigung
Diskussion über Sicherheits- und Umweltaspekte bei der Nanoskaligen Fertigung

Modul #30
Kursabschluss und Schlussfolgerung
Planen Sie die nächsten Schritte in Ihrer Karriere im Bereich Fertigungstechniken im Nanobereich

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