Techniques de fabrication à l'échelle nanométrique
( 30 Modules )
module #1 Introduction à la fabrication à l'échelle nanométrique Vue d'ensemble de la fabrication à l'échelle nanométrique, de son importance et de ses applications
module #2 Techniques de fabrication à l'échelle nanométrique : un aperçu Aperçu des approches descendantes et ascendantes de la fabrication à l'échelle nanométrique
module #3 Lithographie : principes et techniques Introduction à la lithographie, à la photolithographie et à la lithographie ultraviolette extrême
module #4 Lithographie par faisceau d'électrons (EBL) Principes, instrumentation et applications de l'EBL
module #5 Lithographie par faisceau d'ions focalisés (FIB) Principes, instrumentation et applications de la FIB
module #6 Lithographie par microscopie à sonde à balayage (SPM) Principes, instrumentation et applications de la SPM
module #7 Lithographie par nano-impression Principes, instrumentation et applications de la lithographie par nano-impression
module #8 Lithographie douce Principes, instrumentation et applications de la lithographie douce
module #9 Moléculaire Auto-assemblage Principes, techniques et applications de l'auto-assemblage moléculaire
module #10 Lithographie de copolymères en blocs Principes, instrumentation et applications de la lithographie de copolymères en blocs
module #11 Nanolithographie utilisant l'origami d'ADN Principes, techniques et applications de l'origami d'ADN
module #12 Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) Principes, instrumentation et applications CVD
module #13 Dépôt de couche atomique (ALD) Principes, instrumentation et applications ALD
module #14 Dépôt physique en phase vapeur (PVD) Principes, instrumentation et applications PVD
module #15 Techniques de gravure à l'échelle nanométrique Techniques de gravure à l'échelle nanométrique, y compris la gravure ionique réactive (RIE) et la gravure par plasma à couplage inductif (ICP)
module #16 Métrologie et caractérisation à l'échelle nanométrique Techniques de métrologie et de caractérisation à l'échelle nanométrique, y compris l'AFM, le SEM et le TEM
module #17 Défis de la nanofabrication et limites Discussion des défis et des limites de la fabrication à l'échelle nanométrique
module #18 Applications de la fabrication à l'échelle nanométrique Enquête sur les applications de la fabrication à l'échelle nanométrique en électronique, photonique et biomédecine
module #19 Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications énergétiques Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications énergétiques, y compris les cellules solaires et le stockage d'énergie
module #20 Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications biomédicales Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications biomédicales, y compris les biocapteurs et l'ingénierie tissulaire
module #21 Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications électrochimiques Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications électrochimiques, y compris les piles à combustible et les capteurs électrochimiques
module #22 Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications optoélectroniques Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications optoélectroniques, y compris les LED et les photodétecteurs
module #23 Fabrication à l'échelle nanométrique pour les batteries lithium-ion Fabrication à l'échelle nanométrique pour les batteries lithium-ion, y compris la conception et l'optimisation des électrodes
module #24 Fabrication à l'échelle nanométrique pour la purification et l'assainissement de l'eau Fabrication à l'échelle nanométrique pour la purification et l'assainissement de l'eau, y compris la séparation par membrane et nanocatalyseurs
module #25 Fabrication à l'échelle nanométrique pour matériaux avancés Fabrication à l'échelle nanométrique pour matériaux avancés, y compris métamatériaux et nanocomposites
module #26 Fabrication à l'échelle nanométrique pour l'informatique quantique Fabrication à l'échelle nanométrique pour l'informatique quantique, y compris qubits supraconducteurs et points quantiques
module #27 Fabrication à l'échelle nanométrique pour l'imagerie biomédicale Fabrication à l'échelle nanométrique pour l'imagerie biomédicale, y compris IRM et PET
module #28 Fabrication à l'échelle nanométrique pour la fabrication avancée Fabrication à l'échelle nanométrique pour la fabrication avancée, y compris l'impression 3D et l'assemblage à l'échelle nanométrique
module #29 Considérations environnementales et de sécurité dans la fabrication à l'échelle nanométrique Discussion des considérations environnementales et de sécurité dans la fabrication à l'échelle nanométrique
module #30 Bilan et conclusion du cours Planifier les prochaines étapes de la carrière dans les techniques de fabrication à l'échelle nanométrique