Techniques de fabrication à l'échelle nanométrique
( 30 Modules )

module #1
Introduction à la fabrication à l'échelle nanométrique
Vue d'ensemble de la fabrication à l'échelle nanométrique, de son importance et de ses applications

module #2
Techniques de fabrication à l'échelle nanométrique : un aperçu
Aperçu des approches descendantes et ascendantes de la fabrication à l'échelle nanométrique

module #3
Lithographie : principes et techniques
Introduction à la lithographie, à la photolithographie et à la lithographie ultraviolette extrême

module #4
Lithographie par faisceau d'électrons (EBL)
Principes, instrumentation et applications de l'EBL

module #5
Lithographie par faisceau d'ions focalisés (FIB)
Principes, instrumentation et applications de la FIB

module #6
Lithographie par microscopie à sonde à balayage (SPM)
Principes, instrumentation et applications de la SPM

module #7
Lithographie par nano-impression
Principes, instrumentation et applications de la lithographie par nano-impression

module #8
Lithographie douce
Principes, instrumentation et applications de la lithographie douce

module #9
Moléculaire Auto-assemblage
Principes, techniques et applications de l'auto-assemblage moléculaire

module #10
Lithographie de copolymères en blocs
Principes, instrumentation et applications de la lithographie de copolymères en blocs

module #11
Nanolithographie utilisant l'origami d'ADN
Principes, techniques et applications de l'origami d'ADN

module #12
Dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
Principes, instrumentation et applications CVD

module #13
Dépôt de couche atomique (ALD)
Principes, instrumentation et applications ALD

module #14
Dépôt physique en phase vapeur (PVD)
Principes, instrumentation et applications PVD

module #15
Techniques de gravure à l'échelle nanométrique
Techniques de gravure à l'échelle nanométrique, y compris la gravure ionique réactive (RIE) et la gravure par plasma à couplage inductif (ICP)

module #16
Métrologie et caractérisation à l'échelle nanométrique
Techniques de métrologie et de caractérisation à l'échelle nanométrique, y compris l'AFM, le SEM et le TEM

module #17
Défis de la nanofabrication et limites
Discussion des défis et des limites de la fabrication à l'échelle nanométrique

module #18
Applications de la fabrication à l'échelle nanométrique
Enquête sur les applications de la fabrication à l'échelle nanométrique en électronique, photonique et biomédecine

module #19
Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications énergétiques
Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications énergétiques, y compris les cellules solaires et le stockage d'énergie

module #20
Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications biomédicales
Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications biomédicales, y compris les biocapteurs et l'ingénierie tissulaire

module #21
Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications électrochimiques
Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications électrochimiques, y compris les piles à combustible et les capteurs électrochimiques

module #22
Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications optoélectroniques
Fabrication à l'échelle nanométrique pour les applications optoélectroniques, y compris les LED et les photodétecteurs

module #23
Fabrication à l'échelle nanométrique pour les batteries lithium-ion
Fabrication à l'échelle nanométrique pour les batteries lithium-ion, y compris la conception et l'optimisation des électrodes

module #24
Fabrication à l'échelle nanométrique pour la purification et l'assainissement de l'eau
Fabrication à l'échelle nanométrique pour la purification et l'assainissement de l'eau, y compris la séparation par membrane et nanocatalyseurs

module #25
Fabrication à l'échelle nanométrique pour matériaux avancés
Fabrication à l'échelle nanométrique pour matériaux avancés, y compris métamatériaux et nanocomposites

module #26
Fabrication à l'échelle nanométrique pour l'informatique quantique
Fabrication à l'échelle nanométrique pour l'informatique quantique, y compris qubits supraconducteurs et points quantiques

module #27
Fabrication à l'échelle nanométrique pour l'imagerie biomédicale
Fabrication à l'échelle nanométrique pour l'imagerie biomédicale, y compris IRM et PET

module #28
Fabrication à l'échelle nanométrique pour la fabrication avancée
Fabrication à l'échelle nanométrique pour la fabrication avancée, y compris l'impression 3D et l'assemblage à l'échelle nanométrique

module #29
Considérations environnementales et de sécurité dans la fabrication à l'échelle nanométrique
Discussion des considérations environnementales et de sécurité dans la fabrication à l'échelle nanométrique

module #30
Bilan et conclusion du cours
Planifier les prochaines étapes de la carrière dans les techniques de fabrication à l'échelle nanométrique

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