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纳米级制造技术
( 30 模块 )

模块 #1
纳米级制造简介
纳米级制造概述,其重要性和应用

模块 #2
纳米级制造技术：概述
自上而下和自下而上的纳米级制造方法调查

模块 #3
光刻：原理和技术
光刻,光刻和极紫外光刻简介

模块 #4
电子束光刻 (EBL)
EBL 原理,仪器和应用

模块 #5
聚焦离子束 (FIB) 光刻
FIB 原理,仪器和应用

模块 #6
扫描探针显微镜 (SPM) 光刻
SPM 原理,仪器和应用

模块 #7
纳米压印光刻
纳米压印光刻原理,仪器和应用

模块 #8
软光刻
软光刻原理,仪器和应用

模块 #9
分子自组装
分子自组装原理,技术和应用

模块 #10
嵌段共聚物光刻
嵌段共聚物光刻原理,仪器和应用

模块 #11
使用 DNA 折纸的纳米光刻
DNA 折纸原理,技术和应用

模块 #12
化学气相沉积 (CVD)
CVD 原理,仪器和应用

模块 #13
原子层沉积 (ALD)
ALD 原理,仪器和应用

模块 #14
物理气相沉积 (PVD)
PVD 原理,仪器和应用

模块 #15
纳米级蚀刻技术
纳米级蚀刻技术，包括反应离子蚀刻 (RIE) 和电感耦合等离子体 (ICP) 蚀刻

模块 #16
纳米级计量和表征
纳米级计量和表征技术，包括 AFM,SEM 和TEM

模块 #17
纳米制造的挑战和局限性
纳米级制造的挑战和局限性讨论

模块 #18
纳米级制造的应用
纳米级制造在电子,光子学和生物医学中的应用调查

模块 #19
能源应用的纳米级制造
能源应用的纳米级制造，包括太阳能电池和储能

模块 #20
生物医学应用的纳米级制造
生物医学应用的纳米级制造，包括生物传感器和组织工程

模块 #21
电化学应用的纳米级制造
电化学应用的纳米级制造，包括燃料电池和电化学传感器

模块 #22
光电应用的纳米级制造
光电应用的纳米级制造，包括 LED 和光电探测器

模块 #23
锂离子电池的纳米级制造
锂离子电池的纳米级制造，包括电极设计和优化

模块 #24
用于水净化和修复的纳米级制造
用于水净化和修复的纳米级制造，包括膜分离和纳米催化剂

模块 #25
用于先进材料的纳米级制造
用于先进材料的纳米级制造，包括超材料和纳米复合材料

模块 #26
用于量子计算的纳米级制造
用于量子计算的纳米级制造，包括超导量子比特和量子点

模块 #27
用于生物医学成像的纳米级制造
用于生物医学成像的纳米级制造，包括MRI和PET

模块 #28
用于先进制造的纳米级制造
用于先进制造的纳米级制造，包括3D打印和纳米级组装

模块 #29
纳米级制造中的安全和环境考虑因素
纳米级制造中的安全和环境考虑因素的讨论

模块 #30
课程总结与结论
规划纳米级制造技术职业生涯的下一步

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